Л. А. Сейдман

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой